一种基于公自转装载托盘的连续镀膜生产线

发明专利有效专利

申请号：
CN201810914521.6
IPC分类号：C23C14/56;C23C14/50;C23C14/35
申请日期：
2018-08-13
申请人：
武汉科瑞达真空科技有限公司

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专利名称	一种基于公自转装载托盘的连续镀膜生产线
申请号	CN201810914521.6	申请日期	2018-08-13
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2018-10-19	公开/公告号	CN108677160A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/56 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/56 连续镀覆的专用设备；维持真空的装置，例如真空锁定器〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;5;6;;;C;2;3;C;1;4;/;5;0;;;C;2;3;C;1;4;/;3;5查看分类表>
申请人	武汉科瑞达真空科技有限公司	申请人地址	湖北省武汉市东湖高新技术开发区高新大道666号武汉国家生物产业基地项目B、C、D区研发楼B1栋变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	武汉科瑞达真空科技有限公司	当前权利人	武汉科瑞达真空科技有限公司
发明人	朱选敏;郭爱云
代理机构	武汉蓝宝石专利代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	严超

摘要

本发明公开了一种基于公自转装载托盘的新型连续镀膜生产线，包括公自转托盘、入料模块、真空隔离阀模块、进片真空工艺模块、镀膜真空工艺模块、出片真空工艺模块、出料模块，所述进片真空工艺模块的一端安装有真空隔离阀模块，所述进片真空工艺模块的另一端通过真空隔离阀模块与镀膜真空工艺模块的一端隔离，所述镀膜真空工艺模块的另一端通过真空隔离阀模块与出片真空工艺模块的一端隔离，所述出片真空工艺模块的另一端安装有真空隔离阀模块；采用独立的进出片腔体设计，由独立的真空隔离阀模块进行真空隔离，传送系统采用导轮导杆摩擦传送，平稳性好；实现了镀膜的全自动化生产，减少了人员的参与状态，提高了产品的成品率。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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该专利没有被任何外部专利所引用！

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