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具有低热导率的轴的高温用基座

发明专利有效专利

申请号：
CN202211104124.5
IPC分类号：C04B35/582;C04B35/622;H01L21/687
申请日期：
2022-09-09
申请人：
美科陶瓷科技有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	具有低热导率的轴的高温用基座
申请号	CN202211104124.5	申请日期	2022-09-09
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2022-11-11	公开/公告号	CN115321986A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C04B35/582 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C04 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕 C04B 石灰；氧化镁；矿渣；水泥；其组合物，例如：砂浆、混凝土或类似的建筑材料；人造石；陶瓷（微晶玻璃陶瓷入C03C 10/00）；耐火材料（难熔金属的合金入C22C）；天然石的处理〔4〕 C04B35/00 以成分为特征的陶瓷成型制品；陶瓷组合物（含有不用作宏观增强剂的，粘接在碳化物、金刚石、氧化物、硼化物、氮化物、硅化物上的游离金属，例如陶瓷或其他金属化合物，例如氧氮化合物或硫化物的入C22C）；准备制造陶瓷制品的无机化合物的加工粉末〔4〕 C04B35/515 以非氧化物为基料的（C04B 35/50、C04B 35/51优先）〔6〕 C04B35/58 以硼化物、氮化物或硅化物为基料的〔4，6〕 C04B35/581 以氮化铝为基料的〔6〕 C04B35/582 复合材料〔6〕	IPC分类号	C;0;4;B;3;5;/;5;8;2;;;C;0;4;B;3;5;/;6;2;2;;;H;0;1;L;2;1;/;6;8;7查看分类表>
申请人	美科陶瓷科技有限公司	申请人地址	韩国京畿道变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	美科陶瓷科技有限公司	当前权利人	美科陶瓷科技有限公司
发明人	陈正哲
代理机构	北京路浩知识产权代理有限公司	代理人	宋玉环;太香花

摘要

本申请涉及一种具有低热导率的轴的高温下使用的基座，其中在基座中，包括用于晶圆安装的板和联接到该板的轴，板和轴各自包括具有90wt％或更大的AlN相的烧结体，板的烧结体是在650℃下具有5*108Ω·cm或更大的体积电阻的含镁AlN烧结体，并且轴的烧结体是具有100W/mK或更低的室温热导率的AlN烧结体。

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