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缺陷修复装置

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200910210766.1
  • IPC分类号:B23K26/00B23P6/00
  • 申请日期:
    2009-11-09
  • 申请人:
    奥林巴斯株式会社
著录项信息
专利名称缺陷修复装置
申请号CN200910210766.1申请日期2009-11-09
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2010-06-16公开/公告号CN101733545A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B23K26/00IPC分类号B23K26/00;B23P6/00查看分类表>
申请人奥林巴斯株式会社申请人地址
日本*** 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人奥林巴斯株式会社当前权利人奥林巴斯株式会社
发明人中村达哉;赤羽隆之
代理机构北京三友知识产权代理有限公司代理人黄纶伟
摘要
本发明提供缺陷修复装置,其向基板照射具有均匀强度分布的激光。该缺陷修复装置通过光纤将从激光光源出射的激光引导到加工头而修复基板上的缺陷部分,该缺陷修复装置包括:基板台,其使所述基板保持平面状态;门式台架,其隔着所述基板台进行架设;驱动机构,其使所述基板台和所述台架相对移动;安装部,其能够沿着所述台架的水平梁进行移动,并一体安装有所述激光光源和加工头;光纤,其对一体安装在所述安装部上的所述激光光源与所述加工头之间进行连接;以及多个搅模器,将所述光纤向互不相同的方向微微弯曲而调整光纤内的模式分布。

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