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一种半自动旋转靶氧化皮去除装置

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN202020277832.9
  • IPC分类号:B08B1/02;B08B1/00;C23C14/34
  • 申请日期:
    2020-03-09
  • 申请人:
    东莞市欧莱溅射靶材有限公司
著录项信息
专利名称一种半自动旋转靶氧化皮去除装置
申请号CN202020277832.9申请日期2020-03-09
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B08B1/02IPC分类号B;0;8;B;1;/;0;2;;;B;0;8;B;1;/;0;0;;;C;2;3;C;1;4;/;3;4查看分类表>
申请人东莞市欧莱溅射靶材有限公司申请人地址
广东省东莞市厚街镇汀山村汀山路121号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人东莞市欧莱溅射靶材有限公司当前权利人东莞市欧莱溅射靶材有限公司
发明人陈明恒
代理机构北京天盾知识产权代理有限公司代理人暂无
摘要
本实用新型公开了一种半自动旋转靶氧化皮去除装置,包括机架、第一支承辊、第二支承辊、转动驱动装置和转动控制单元,第一支承辊和第二支承辊分别转动安装于机架的顶部,第一支承辊和第二支承辊相平行,第一支承辊和第二支承辊之间间隔形成用作放置旋转靶的支撑部;转动驱动装置驱动连接第一支承辊或第二支承辊,转动控制单元与转动驱动装置电连接。与现有技术相比,本半自动氧化皮去除装置是手工去皮设备,能够对高温旋转靶进行设定角行程的自动转动,以配合手工去皮,免除人工转动,缩短去皮周期,避免旋转靶在去皮周期内降至去皮工作的温度下限,提高旋转靶氧化皮的去除率以及旋转靶绑定的良品率。

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