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一种滚轮紫外线软压印装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201620934637.2
IPC分类号：G03F7/00
申请日期：
2016-08-25
申请人：
苏州光舵微纳科技股份有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种滚轮紫外线软压印装置
申请号	CN201620934637.2	申请日期	2016-08-25
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F7/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F7/00 图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L 21/00，H05K）〔3，5〕	IPC分类号	G;0;3;F;7;/;0;0查看分类表>
申请人	苏州光舵微纳科技股份有限公司	申请人地址	江苏省苏州市常熟市常熟经济技术开发区（四海路11号）科创园2号楼102 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	苏州光舵微纳科技股份有限公司	当前权利人	苏州光舵微纳科技股份有限公司
发明人	史晓华
代理机构	苏州华博知识产权代理有限公司	代理人	魏亮芳

摘要

本实用新型公开一种大滚轮紫外线软压印装置，用于对衬底表面的压印胶进行压印，其包括：滚轮，在滚轮内部设有紫外线光源，且紫外线光源发出的紫外光能从滚轮射出；软膜模板，其设置于滚轮的外表面，且在软膜模板上设有压印图形，用于对衬底表面的压印胶进行压印。本实用新型一种大滚轮紫外线软压印装置结构简单，可以有效实现大范围的纳米压印，效率高，效果好。

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