离子源装置及可活动射频扫描离子设备

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201922500049.4
IPC分类号：H01J37/08;H01J37/30
申请日期：
2019-12-31
申请人：
中山市博顿光电科技有限公司

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著录项信息

专利名称	离子源装置及可活动射频扫描离子设备
申请号	CN201922500049.4	申请日期	2019-12-31
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/08 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/02 零部件 H01J37/04 电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置，如电子光学装置，离子光学装置 H01J37/08 离子源；离子枪	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;0;8;;;H;0;1;J;3;7;/;3;0查看分类表>
申请人	中山市博顿光电科技有限公司	申请人地址	广东省中山市火炬开发区科技东路39号之二219、220室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中山市博顿光电科技有限公司	当前权利人	中山市博顿光电科技有限公司
发明人	刘伟基;冀鸣;赵刚;易洪波;曾文华;刘运鸿;吴秋生;范奕生
代理机构	北京市立方律师事务所	代理人	刘延喜

摘要

本申请涉及一种离子源装置和可活动射频扫描离子设备，该离子源装置包括：射频匹配网络、射频离子源；其中，射频匹配网络为Π型结构的匹配网络；射频匹配网络的输入端连接射频源，射频匹配网络的输出端连接至射频离子源的射频线圈一端；射频离子源的射频线圈另一端接地；射频匹配网络通过输入端接入射频源，射频源通过输出端传输至射频离子源的射频线圈，射频线圈对通过气体管道进入电离室的气体进行电离产生离子，并通过屏极栅网的驱动产生离子束。上述离子源装置，简化了射频匹配网络的结构，便于移动使用。上述可活动射频扫描离子设备，离子源可以方便移动来实现镜面的扫描处理，提升了射频扫描离子设备使用效果。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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