首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据，仅供参考，实际以国家知识产权局展示为准

生产六氯乙硅烷的方法

发明专利无效专利

申请号：
CN01803007.6
IPC分类号：--
申请日期：
2001-07-26
申请人：
三菱综合材料多晶硅股份有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	生产六氯乙硅烷的方法
申请号	CN01803007.6	申请日期	2001-07-26
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2003-01-22	公开/公告号	CN1392862
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	三菱综合材料多晶硅股份有限公司	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	三菱麻铁里亚尔株式会社	当前权利人	三菱麻铁里亚尔株式会社
发明人	桐井精一;生川满敏;竹末久幸
代理机构	中国专利代理（香港）有限公司	代理人	温宏艳;杨丽琴

摘要

将从用氯硅烷和氢气生产多晶硅的炉子中排出的废气冷凝以分离出氢气。将所得冷凝物蒸馏以分离出未反应的氯硅烷和副产物四氯化硅，然后进一步蒸馏以回收六氯乙硅烷。四氯乙硅烷可以与六氯乙硅烷一起回收。回收的六氯乙硅烷和四氯乙硅烷的纯度比用金属硅生产的常规产品的纯度高得多。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供