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用于转载石英舟的自动传输装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201010101102.4
  • IPC分类号:H01L21/677;H01L31/18
  • 申请日期:
    2010-01-26
  • 申请人:
    沈阳富森科技有限公司
著录项信息
专利名称用于转载石英舟的自动传输装置
申请号CN201010101102.4申请日期2010-01-26
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2010-07-07公开/公告号CN101770970A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/677IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7;7;;;H;0;1;L;3;1;/;1;8查看分类表>
申请人沈阳富森科技有限公司申请人地址
上海市闵行区万芳路555号1号楼202室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海大族富创得科技有限公司当前权利人上海大族富创得科技有限公司
发明人吴功;闻静;郑君强;杨瑞秋;赵海龙
代理机构沈阳科威专利代理有限责任公司代理人刁佩德
摘要
一种用于转载石英舟的自动传输装置,解决了传统手工操作可靠性较差、效率低和现有传输装置受结构的约束,影响移动的活动范围等问题,它包括机架、升降臂和抓取机构以及电气控制装置,其技术要点是:升降臂通过连接其上的主动旋转臂、被动旋转臂与抓取机构组成四连杆调整机构,升降臂上的主动旋转臂固定在手臂旋转电机驱动的传动轴上,主动旋转臂的伸缩臂铰接在抓取机构的一端,升降臂上的被动旋转臂固定在被动轴上,另一端铰接在抓取机构上。其设计合理,传动结构简便,移动的活动范围广,且传输定位控制快捷、精确,安装容易,调试、维护方便,显著增加承载能力和运行的安全可靠性,提高热处理设备的作业效率,避免晶圆片或太阳能电池片破损。

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供