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工作平台的上下料方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110872266.5
  • IPC分类号:G03F7/20
  • 申请日期:
    2021-07-30
  • 申请人:
    江苏迪盛智能科技有限公司
著录项信息
专利名称工作平台的上下料方法
申请号CN202110872266.5申请日期2021-07-30
法律状态公开申报国家中国
公开/公告日2021-10-22公开/公告号CN113534621A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人江苏迪盛智能科技有限公司申请人地址
江苏省苏州市吴中区木渎镇金山南路868号锐晶大厦2号楼2层 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人江苏迪盛智能科技有限公司当前权利人江苏迪盛智能科技有限公司
发明人陈国军;吴景舟;马迪
代理机构苏州谨和知识产权代理事务所(特殊普通合伙)代理人叶栋
摘要
本申请涉及一种用于光刻设备的工作平台的上下料方法,包括:S1、启动支撑组件;S2、使用托举件将工件移动至平台的工作面上,支撑组件支撑工件;S3、将托举件脱离工件;S4、泵体向若干气孔吹气,使得设置在气孔内的浮动组件在气孔内移动并至少部分突伸出工作面;S5、关闭支撑组件使得支撑组件的上端面平行或低于工作面,浮动组件支撑工件;S6、移动工件至目标位置,并将工件固定在工作面上;S7、工件加工完成后,启动支撑组件,支撑组件至少部分突伸出工作面,以支撑工件;S8、将托举件插入到工件和工作面之间的间隙,以托举工件并将工件移离工作平台。该方法操作简单、省力,且可轻松实现大体积或较重工件的上下料,提高了工作平台的实用性。

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