基板把持手及具备基板把持手的基板搬运装置

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专利名称	基板把持手及具备基板把持手的基板搬运装置
申请号	CN201780060117.0	申请日期	2017-10-17
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2019-05-21	公开/公告号	CN109791909A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	川崎重工业株式会社	申请人地址	日本兵库县神户市变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	川崎重工业株式会社	当前权利人	川崎重工业株式会社
发明人	福岛崇行;吉田哲也;木下真也
代理机构	上海瀚桥专利代理事务所（普通合伙）	代理人	曹芳玲

摘要

一种基板把持手，是把持圆板状的基板W的基板把持手，且具备基底板（11）及引导构件（12），该引导构件（12）设置于基底板（11），从水平方向观察时形成为L字状，在底面（12b）的基端部设置水平部（12h），且以底面（12b）与内壁面（12i）所成的角部即第一角部（12a1）成为曲线状的形式形成。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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