清洗药液的复合温度控制方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201110145398.4
IPC分类号：B08B3/10;G05D23/00
申请日期：
2011-05-31
申请人：
北京七星华创电子股份有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	清洗药液的复合温度控制方法
申请号	CN201110145398.4	申请日期	2011-05-31
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2011-10-19	公开/公告号	CN102218412A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B08B3/10 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B08 清洁 B08B 一般清洁；一般污垢的防除（刷子入A46；家庭或类似清洁装置入A47L；颗粒从液体或气体中分离入B01D；固体分离入B03，B07；一般对表面喷射或涂敷液体或其他流体材料入B05；用于输送机的清洗装置入B65G 45/10；对瓶子同时进行清洗、灌注和封装的入B67C 7/00；一般腐蚀或积垢的防止入C23；街道、永久性道路、海滨或陆地的清洗入E01H；专门用于游泳池或仿海滨浴场浅水池或池子的部件、零件或辅助设备清洁的入E04H 4/16；防止或清除静电荷入H05F） B08B3/00 使用液体或蒸气的清洁方法（B08B 9/00优先） B08B3/04 与液体接触的清洁 B08B3/10 对液体或被净化物体进行附加处理的，如用加热，电力，振动	IPC分类号	B;0;8;B;3;/;1;0;;;G;0;5;D;2;3;/;0;0查看分类表>
申请人	北京七星华创电子股份有限公司	申请人地址	北京市北京经济技术开发区文昌大道8号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京北方华创微电子装备有限公司	当前权利人	北京北方华创微电子装备有限公司
发明人	李曼;李春彦;马嘉
代理机构	北京路浩知识产权代理有限公司	代理人	王莹

摘要

本发明涉及一种清洗药液的复合温度控制方法，属于自动化控制技术领域。为提高药液温度控制方法的抗扰动能力，该方法包括：在药液存储槽底部位置及工艺清洗供液出口处各自设置温度传感器；在加热器及工艺清洗供液出口处分别设置内环PID控制器及外环PID控制器；控制加热器加热药液存储槽，使存储槽内药液温度达到目标温度值；当药液达到目标温度值并稳定后，进行清洗药液供给，同时控制加热器加热功率使供液温度稳定保持为供液目标温度值。该方法可以有效克服因清洗药液回收、补液或加热器前端管路因素所引起的供液出口处的供液温度的扰动；通道中主回路和副回路采用异步采样，副回路可快速抑制扰动，且温度信号不会过于灵敏而导致噪声太多。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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