膜厚测定装置以及膜厚测定方法

发明专利无效专利

申请号：
CN200980111320.1
IPC分类号：G01B11/06;G01N21/27
申请日期：
2009-07-24
申请人：
株式会社尼利可

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	膜厚测定装置以及膜厚测定方法
申请号	CN200980111320.1	申请日期	2009-07-24
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2011-02-23	公开/公告号	CN101981406A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/06 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/02 用于计量长度、宽度或厚度（G01B 11/08优先） G01B11/06 用于计量厚度	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;0;6;;;G;0;1;N;2;1;/;2;7查看分类表>
申请人	株式会社尼利可	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社尼利可	当前权利人	株式会社尼利可
发明人	山田健夫;山本猛;山仓崇宽;林真治;河合慎吾
代理机构	北京三友知识产权代理有限公司	代理人	李辉;黄纶伟

摘要

本发明提供一种膜厚测定装置以及膜厚测定方法，膜厚测定装置具有光源(101)、分光传感器(109)、处理器(120)、和存储装置(130)，使来自上述光源的光垂直地入射到具有膜的测定对象面(501)，被测定对象面反射的光入射到上述分光传感器。上述存储装置存储每种膜厚的反射率分布的理论值和每种膜厚的颜色特性变量的理论值，上述处理器使用存储于上述存储装置中的每种膜厚的反射率分布的理论值或每种膜厚的颜色特性变量的理论值，根据上述分光传感器所测定的反射率分布，求出测定对象面的膜的膜厚。

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