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*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

一种柔性规格掩膜版安装装置

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN202023238322.X
  • IPC分类号:G03F7/20
  • 申请日期:
    2020-12-29
  • 申请人:
    东莞市友辉光电科技有限公司
著录项信息
专利名称一种柔性规格掩膜版安装装置
申请号CN202023238322.X申请日期2020-12-29
法律状态授权申报国家暂无
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人东莞市友辉光电科技有限公司申请人地址
广东省东莞市万江街道拔蛟窝创业路1号3栋 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人东莞市友辉光电科技有限公司当前权利人东莞市友辉光电科技有限公司
发明人余燕青;陶伟荣
代理机构东莞市创益专利事务所代理人许彬
摘要
本实用新型涉及一种柔性规格掩膜版安装装置,其具有支撑结构、固定压头及抗弯支撑件,该支撑结构上设有安装区,安装区适配掩膜版落位安置;固定压头安装在支撑结构上并在动力部件带动下对安装区放置的掩膜版固定;抗弯支撑件安装在支撑结构上并支顶掩膜版,当固定压头通过对掩膜版施压,在抗弯支撑件支顶下,掩膜版中间产生由下往上的力距,来减小掩膜版因重力中间下堕的变形。本实用新型的不仅适合多种规格大小的掩膜版安装使用,且还具有减小掩膜版组装弯矩的功效,因此可达到柔性规格安装,并保证掩膜版组装使用性能,结构简单、牢固,安装使用方便,降低运营成本,符合光刻生产的需要。

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