一种WSx/Me/a-C/Me纳米多层结构固体润滑膜及其制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201810719102.7
IPC分类号：C23C14/06;C23C14/18;C23C14/34
申请日期：
2018-07-03
申请人：
浙江工业大学

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专利名称	一种WSx/Me/a-C/Me纳米多层结构固体润滑膜及其制备方法
申请号	CN201810719102.7	申请日期	2018-07-03
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2018-12-11	公开/公告号	CN108977765A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/06 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/06 以镀层材料为特征的（C23C 14/04优先）〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;0;6;;;C;2;3;C;1;4;/;1;8;;;C;2;3;C;1;4;/;3;4查看分类表>
申请人	浙江工业大学	申请人地址	浙江省杭州市下城区潮王路18号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	浙江工业大学	当前权利人	浙江工业大学
发明人	杨芳儿;王贡启;郑晓华;龚润泽;杨烁妍;刘涛
代理机构	杭州杭诚专利事务所有限公司	代理人	尉伟敏

摘要

本发明涉及材料摩擦磨损与固体润滑技术领域，尤其涉及一种WSx/Me/a‑C/Me纳米多层结构固体润滑膜及其制备方法，所述固体润滑膜包括基体(1)，金属过渡层(2)和纳米多层膜(3)，所述纳米多层膜为由若干纳米复合单元组成的层状结构，所述纳米复合单元包括WSx层(4)，金属层(5)，非晶态碳膜层(6)和金属亚层(7)，所述金属层和金属亚层的材料相同或不同。本发明的固体润滑膜具有优异的抗氧化性能，摩擦因数较低，承载能力及耐磨性优良，与基体结合状态较好，使用寿命长；制备工艺简单，沉积过程易控制，成本低且制备过程安全无污染；能够应用于机械领域零部件表面的润滑防护膜，具有广阔的应用前景。

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