柔性磁控溅射镀膜横向均匀性控制装置

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201720624704.5
IPC分类号：C23C14/35;C23C14/54
申请日期：
2017-06-01
申请人：
南京沪友冶金机械制造有限公司

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专利名称	柔性磁控溅射镀膜横向均匀性控制装置
申请号	CN201720624704.5	申请日期	2017-06-01
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/35 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/34 溅射〔4〕 C23C14/35 利用磁场的，例如磁控溅射〔5〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;3;5;;;C;2;3;C;1;4;/;5;4查看分类表>
申请人	南京沪友冶金机械制造有限公司	申请人地址	江苏省南京市溧水区石湫镇桑元蒲变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	南京沪友冶金机械制造有限公司	当前权利人	南京沪友冶金机械制造有限公司
发明人	武良辰
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本技术公开了一种柔性磁控溅射镀膜横向均匀性控制装置，喷嘴排上设有气体喷嘴，磁控溅射程度监测探头有多个，用于检测气体喷嘴的溅射程度，磁控溅射程度监测探头通过屏蔽电信号输出线与磁控溅射程度分析比较装置输入端相连接，磁控溅射程度分析比较装置的输出端通过屏蔽电信号输出线与阀门开度控制装置相连接，阀门开度控制装置用于控制电动阀门的开闭度，每个气体喷嘴上均单独设有电动阀门，气体气源通过不锈钢管依次与气体压力稳压装置、电动阀门、气体喷嘴相连。本技术装置能控制横向各点溅射程度一致，从而控制对应点气体分布密度，达到控制横向相应各点沉积率的目的，使得横向各点膜性能指标均匀一致。

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