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光刻胶显影过程三维模拟可视化方法

发明专利无效专利

申请号：
CN200910053888.4
IPC分类号：G06T17/00;G06T17/40;G06T15/00;G06T15/70;H04L29/06
申请日期：
2009-06-26
申请人：
上海大学

基础信息

权利要求

说明书

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	光刻胶显影过程三维模拟可视化方法
申请号	CN200910053888.4	申请日期	2009-06-26
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2009-11-25	公开/公告号	CN101587596
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G06T17/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G06 计算；推算；计数 G06T 一般的图像数据处理或产生〔6，2006.01〕 G06T17/00 用于计算机制图的3D建模〔6〕	IPC分类号	G;0;6;T;1;7;/;0;0;;;G;0;6;T;1;7;/;4;0;;;G;0;6;T;1;5;/;0;0;;;G;0;6;T;1;5;/;7;0;;;H;0;4;L;2;9;/;0;6查看分类表>
申请人	上海大学	申请人地址	上海市宝山区上大路99号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海大学	当前权利人	上海大学
发明人	万旺根;崔滨;吴永亮;余小清
代理机构	上海上大专利事务所（普通合伙）	代理人	何文欣

摘要

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