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晶舟夹取机构的位移驱动装置

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201920590662.7
  • IPC分类号:B65G47/90
  • 申请日期:
    2019-04-26
  • 申请人:
    昆山基侑电子科技有限公司
著录项信息
专利名称晶舟夹取机构的位移驱动装置
申请号CN201920590662.7申请日期2019-04-26
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B65G47/90IPC分类号B;6;5;G;4;7;/;9;0查看分类表>
申请人昆山基侑电子科技有限公司申请人地址
江苏省苏州市昆山市周市镇黄浦江北路333号A-1厂房 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人昆山基侑电子科技有限公司当前权利人昆山基侑电子科技有限公司
发明人王静强;黄锡钦;徐福兴
代理机构暂无代理人暂无
摘要
为了解决动晶舟夹取机构位移精度低的技术问题,本实用新型提供了一种包括平移驱动机构、升降驱动机构、连接杆和一对拨杆开关的晶舟夹取机构的位移驱动装置,平移驱动机构由伺服电机一、齿条、齿轮和两条直线滑轨一构成;升降驱动机构由基座、伺服电机二、滚珠丝杆副和两条直线滑轨二构成;一对拨杆开关安装在晶舟夹取机构的一对夹持臂上,拨杆开关的拨杆向下延伸至所述夹持臂的下方。伺服电机、齿轮齿条、滚珠丝杆副的组合驱动晶舟夹取机构升降和平移,配合直线导轨导向,提高晶舟夹取机构的位移精度;同时,两个拨杆开关探测晶舟的位置,PLC根据两个拨杆开关的打开情况及时修正晶舟夹取机构的位置。

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