具有集成的微型泵尤其是生化微反应器的微流体装置及其制造方法

发明专利无效专利

申请号：
CN200680025765.4
IPC分类号：B81C1/00;F04B19/00;B01L3/00
申请日期：
2006-05-10
申请人：
意法半导体股份有限公司

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专利名称	具有集成的微型泵尤其是生化微反应器的微流体装置及其制造方法
申请号	CN200680025765.4	申请日期	2006-05-10
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2008-07-16	公开/公告号	CN101223101
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B81C1/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B8 微观结构技术；纳米技术 B81 微观结构技术〔7〕 B81C 专门适用于制造或处理微观结构装置或系统的方法或设备（制造微胶囊或微球入B01J13/02；专门适用于制造或处理压电器件、电致伸缩器件或磁致伸缩器件的方法或设备本身入H01L41/22）〔7〕 B81C1/00 在基片内或其上制造或处理的装置或系统（B81C 3/00优先）〔7〕	IPC分类号	B;8;1;C;1;/;0;0;;;F;0;4;B;1;9;/;0;0;;;B;0;1;L;3;/;0;0查看分类表>
申请人	意法半导体股份有限公司	申请人地址	意大利布里安扎变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	意法半导体股份有限公司	当前权利人	意法半导体股份有限公司
发明人	M·G·斯库拉蒂
代理机构	中国专利代理（香港）有限公司	代理人	张雪梅;张志醒

摘要

一种用于核酸分析的微流体装置，包括单片半导体本体(13)、至少部分容纳在所述单片半导体本体(13)中的微流体电路(10)以及微型泵(11)。微流体电路(10)包括形成在单片半导体本体(13)上的样品制备通道(18)和掩埋在单片半导体本体(13)中的至少一个微流体通道(20，22)。微型泵(11)包括多个设有相应可打开密封元件(41)的多个密封腔(40)，所述密封腔中具有不同于所述微流体电路(10)中的第二压力的第一压力。此外，微型泵(11)和微流体电路(10)配置成使得打开所述可打开密封元件(41)提供相应腔(40)与微流体电路(10)之间的流体耦合。可打开密封元件(41)集成在单片半导体本体(13)中。

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