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试样支撑体

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201880060457.8
  • IPC分类号:G01N27/62;H01J49/04
  • 申请日期:
    2018-08-03
  • 申请人:
    浜松光子学株式会社
著录项信息
专利名称试样支撑体
申请号CN201880060457.8申请日期2018-08-03
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2020-05-01公开/公告号CN111094967A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01N27/62IPC分类号G;0;1;N;2;7;/;6;2;;;H;0;1;J;4;9;/;0;4查看分类表>
申请人浜松光子学株式会社申请人地址
日本静冈县 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人浜松光子学株式会社当前权利人浜松光子学株式会社
发明人大村孝幸;小谷政弘
代理机构北京尚诚知识产权代理有限公司代理人杨琦
摘要
试样支撑体(1)包括基板(2)和电离基板(3)。电离基板(3)在第2表面(3b)上具有用于滴落试样的测量区域(R)。在电离基板(3)的至少测量区域(R)形成有在第1表面(3a)和第2表面(3b)开口的多个贯通孔(3c)。至少在第2表面(3b)上的贯通孔(3c)的周缘部设置有导电层(4)。基板(2)的电离基板(3)侧的至少一部分以能够使试样移动到基板(2)的内侧的方式形成。

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