一种镍酸镧定位替代的钛酸铋合金薄膜及其制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201910876381.2
IPC分类号：C23C14/34;C23C14/08;C23C14/58
申请日期：
2019-09-17
申请人：
常州大学

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专利名称	一种镍酸镧定位替代的钛酸铋合金薄膜及其制备方法
申请号	CN201910876381.2	申请日期	2019-09-17
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2019-12-20	公开/公告号	CN110592539A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/34 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/34 溅射〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;3;4;;;C;2;3;C;1;4;/;0;8;;;C;2;3;C;1;4;/;5;8查看分类表>
申请人	常州大学	申请人地址	江苏省常州市武进区滆湖路1号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	常州大学	当前权利人	常州大学
发明人	曹先胜;吉高峰
代理机构	常州市英诺创信专利代理事务所（普通合伙）	代理人	谢新萍

摘要

本发明属于铁电材料技术领域，具体涉及一种镍酸镧定位替代的钛酸铋合金薄膜及其制备方法，该合金薄膜包括：表面为二氧化钛TiO2的单晶(001)钛酸锶衬底；钛酸铋陶瓷、镍酸镧陶瓷的靶材交替沉积在衬底上形成的薄膜。制备方法为：清洗衬底；将两陶瓷靶材和衬底置于真空腔；将腔体抽真空，加热衬底，先在SrTiO3(001)面上生长钛酸铋薄膜，然后转动公转靶至陶瓷镍酸镧靶，沉积镍酸镧薄膜，不断转动公转靶交替重复沉积钛酸铋薄膜和镍酸镧薄膜，得到复合薄膜；实现La替代(Bi2O2)2+层中的Bi，Ni替代(Bi2Ti3O10)2‑层中Ti，得到镍酸镧定位替代的钛酸铋定位替代合金铁电薄膜。

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