偏角误差补偿的电感传感器校准方法与装置

发明专利无效专利

申请号：
CN201610311955.8
IPC分类号：G01B7/02
申请日期：
2016-05-12
申请人：
哈尔滨工业大学

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著录项信息

专利名称	偏角误差补偿的电感传感器校准方法与装置
申请号	CN201610311955.8	申请日期	2016-05-12
法律状态	放弃专利权	申报国家	中国
公开/公告日	2017-11-21	公开/公告号	CN107367218A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B7/02 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B7/00 以采用电或磁的方法为特征的计量设备 G01B7/02 用于计量长度、宽度或厚度（G01B 7/004，G01B 7/12优先）〔6〕	IPC分类号	G;0;1;B;7;/;0;2查看分类表>
申请人	哈尔滨工业大学	申请人地址	黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	哈尔滨工业大学	当前权利人	哈尔滨工业大学
发明人	孙传智;谭久彬;王雷;赵勃
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

偏角误差补偿的电感传感器校准方法与装置属于精密测量技术领域。其校准方法与装置以双频激光干涉仪作为运动基准，超声波电机作为驱动元件，滚珠导轨作为导向元件，直线光栅尺作为反馈元件进行大行程、精定位。利用四个电涡流传感器补偿位移传递机构运动的俯仰与偏航误差；本发明可以有效解决位移传感器校准装置行程与精度之间的矛盾，实现大行程、高精度电感位移传感器的动静态校准。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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