一种用于激光直写曝光机的激光能量测量装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201520692354.7
IPC分类号：G01M11/02
申请日期：
2015-09-09
申请人：
合肥芯碁微电子装备有限公司

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著录项信息

专利名称	一种用于激光直写曝光机的激光能量测量装置
申请号	CN201520692354.7	申请日期	2015-09-09
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01M11/02 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01M 机器或结构部件的静或动平衡的测试；其他类目中不包括的结构部件或设备的测试 G01M11/00 光学设备的测试；其他类目未包括的用光学方法测试结构部件 G01M11/02 光学性质的测试	IPC分类号	G;0;1;M;1;1;/;0;2查看分类表>
申请人	合肥芯碁微电子装备有限公司	申请人地址	安徽省合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期F3楼11层变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	合肥芯碁微电子装备股份有限公司	当前权利人	合肥芯碁微电子装备股份有限公司
发明人	陆敏婷
代理机构	合肥天明专利事务所	代理人	宋倩;袁由茂

摘要

本实用新型提供一种用于激光直写曝光机的激光能量测量装置，该装置包括设置在激光器输出光路上的光电变送单元以及与所述光电变送单元连接的同轴传输线，所述光电变送单元包括光电传感单元、一级放大单元和二级放大单元；所述光电传感单元的输出端通过一级放大单元与二级放大单元的输入端连接，所述二级放大单元的输出端通过同轴传输线与后端电路的输入端连接。本实用新型可以实时测量激光器输出的激光光强，不仅能够检测出激光器是否发生能量衰减，而且结合能量闭环控制系统，还能够有效解决激光器能量跳变这一技术难题。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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