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激光近场分辨率测量用4f光学系统

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN201120074815.6
  • IPC分类号:G01J1/04;G02B27/30;G02B27/00
  • 申请日期:
    2011-03-21
  • 申请人:
    中国科学院西安光学精密机械研究所
著录项信息
专利名称激光近场分辨率测量用4f光学系统
申请号CN201120074815.6申请日期2011-03-21
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01J1/04IPC分类号G;0;1;J;1;/;0;4;;;G;0;2;B;2;7;/;3;0;;;G;0;2;B;2;7;/;0;0查看分类表>
申请人中国科学院西安光学精密机械研究所申请人地址
陕西省西安市高新区新型工业园信息大道17号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国科学院西安光学精密机械研究所当前权利人中国科学院西安光学精密机械研究所
发明人李红光;董晓娜;达争尚
代理机构西安智邦专利商标代理有限公司代理人徐平
摘要
本实用新型涉及一种在激光近场分辨率测量用的4f光学系统,该激光近场分辨率测量用4f光学系统包括对入射光起发散作用的发散元件、对入射光起会聚作用的会聚元件以及探测器;发散元件、会聚元件以及探测器依次设置于同一光轴上。本实用新型提供了一种测量精度高、结构简单以及使用方便的激光近场分辨率测量用4f光学系统。

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