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*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

一种酸性蚀刻液循环再生装置

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201921498366.0
  • IPC分类号:C23F1/46;C23F1/18;B01D53/78;B01D53/68
  • 申请日期:
    2019-09-10
  • 申请人:
    长沙利洁环保科技有限公司
著录项信息
专利名称一种酸性蚀刻液循环再生装置
申请号CN201921498366.0申请日期2019-09-10
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23F1/46IPC分类号C;2;3;F;1;/;4;6;;;C;2;3;F;1;/;1;8;;;B;0;1;D;5;3;/;7;8;;;B;0;1;D;5;3;/;6;8查看分类表>
申请人长沙利洁环保科技有限公司申请人地址
湖南省长沙市长沙高新开发区麓松路789号工业厂房一楼 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人长沙利洁环保科技有限公司当前权利人长沙利洁环保科技有限公司
发明人陈仁华;聂国勇;李建立
代理机构长沙优企知识产权代理事务所(普通合伙)代理人刘佳芳
摘要
本实用新型公开了一种酸性蚀刻液循环再生装置,主要包括电解槽(3)、循环槽(1)和氯气吸收回用塔(4);所述电解槽(3)内设有阳极区(31)和阴极区(32);所述循环槽(1)包括槽体,所述槽体的底部通过隔板分割为阳极循环区(11)、蚀刻循环区(12)和阴极循环区(13);所述电解槽的阳极区(31)分别与循环槽的阳极循环区(11)和蚀刻循环区(12)连通;所述电解槽的阴极区(32)与阴极循环区(13)相互连通。该装置可以将酸性蚀刻液内部循环再生直接利用,节约成本,且氯气零排放,保护环境。

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