一种适用于激光器放电腔的钝化装置

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专利名称	一种适用于激光器放电腔的钝化装置
申请号	CN201920387883.4	申请日期	2019-03-25
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01S3/03 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01S 利用受激发射的器件 H01S3/00 激光器，即利用受激发射对红外光、可见光或紫外线进行产生、放大、调制、解调或变频的器件（半导体激光器入H01S 5/00） H01S3/02 结构零部件 H01S3/03 气体激光器放电管的〔2〕	IPC分类号	H;0;1;S;3;/;0;3;;;H;0;1;S;3;/;0;3;6查看分类表>
申请人	北京科益虹源光电技术有限公司	申请人地址	北京市大兴区经济技术开发区经海四路156号10号楼二层201 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京科益虹源光电技术有限公司	当前权利人	北京科益虹源光电技术有限公司
发明人	沙鹏飞;杨军红;熊光亮;贺跃坡;韩晓泉;宋兴亮;陈刚;冯泽斌;丁金滨;刘斌;辛茗
代理机构	深圳市科进知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	曹卫良

摘要

本实用新型提供了一种适用于激光器放电腔的钝化装置，包括：真空烘烤箱、显控单元、真空泵、气体供给单元、气体分析仪和卤素过滤器，待钝化的放电腔置于该真空烘烤箱中，使用该装置对放电腔钝化，能够定量评价钝化过程、避免放电腔材料放气对激光器性能造成的恶劣影响以及降低钝化成本。且结构简单，容易操作。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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