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半导体器件

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202010630657.1
  • IPC分类号:H01L23/528;H01L23/535;H01L23/48;H01L23/488;H01L23/498
  • 申请日期:
    2020-07-03
  • 申请人:
    英飞凌科技奥地利有限公司
著录项信息
专利名称半导体器件
申请号CN202010630657.1申请日期2020-07-03
法律状态公开申报国家中国
公开/公告日2021-01-05公开/公告号CN112185931A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L23/528IPC分类号H;0;1;L;2;3;/;5;2;8;;;H;0;1;L;2;3;/;5;3;5;;;H;0;1;L;2;3;/;4;8;;;H;0;1;L;2;3;/;4;8;8;;;H;0;1;L;2;3;/;4;9;8查看分类表>
申请人英飞凌科技奥地利有限公司申请人地址
奥地利菲拉赫西门子大街2号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人英飞凌科技奥地利有限公司当前权利人英飞凌科技奥地利有限公司
发明人O.布兰克;G.内鲍尔
代理机构中国专利代理(香港)有限公司代理人暂无
摘要
公开了一种半导体器件。在一些实施例中,半导体器件包括半导体管芯,半导体管芯包括具有源极电极、漏极电极和栅极电极的竖向晶体管器件,半导体管芯具有第一表面和位于第一表面上的金属化结构。金属化结构包括在第一表面上的第一导电层、在第一导电层上的第一绝缘层、在第一绝缘层上的第二导电层、在第二导电层上的第二绝缘层和在第二绝缘层上的第三导电层。第三导电层包括耦合到源极电极的至少一个源极焊盘、耦合到漏极电极的至少一个漏极焊盘以及耦合到栅极电极的至少一个栅极焊盘。

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