利用偏振光确定特征参数的方法和装置

发明专利无效专利

申请号：
CN97194713.9
IPC分类号：--
申请日期：
1997-03-19
申请人：
利奥泰克有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	利用偏振光确定特征参数的方法和装置
申请号	CN97194713.9	申请日期	1997-03-19
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	1999-06-09	公开/公告号	CN1219236
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	利奥泰克有限公司	申请人地址	澳大利亚昆士兰州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	利奥泰克有限公司	当前权利人	利奥泰克有限公司
发明人	J·M·密苏拉
代理机构	上海专利商标事务所	代理人	李湘

摘要

利用光束偏振状态变化监视固体表面的等离子体反应(在刻蚀或淀积期间)。在等离子体处理期间衬底的物理参数将发生变化。所监视的光束表征了衬底表面组分的变化和与等离子体处理相关的组分变化。表面反射的光束通过采用椭偏仪测量术但是采用新计算方法的系统分析。光偏振状态的周期被用作参照点以实时监视表面情况。本发明还可以用于表面的定量和定性化学分析。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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