一种同时提高烧结钕铁硼矫顽力和耐蚀性的方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202011491685.6
IPC分类号：C23C14/16;C23C14/06;C23C14/18;C23C14/35;C23C14/58;C23C10/08;H01F41/02
申请日期：
2020-12-17
申请人：
中国科学院力学研究所

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著录项信息

专利名称	一种同时提高烧结钕铁硼矫顽力和耐蚀性的方法
申请号	CN202011491685.6	申请日期	2020-12-17
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2021-04-20	公开/公告号	CN112680695A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/16 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/06 以镀层材料为特征的（C23C 14/04优先）〔4〕 C23C14/14 金属材料、硼或硅〔4〕 C23C14/16 在金属基体或在硼或硅基体上〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;1;6;;;C;2;3;C;1;4;/;0;6;;;C;2;3;C;1;4;/;1;8;;;C;2;3;C;1;4;/;3;5;;;C;2;3;C;1;4;/;5;8;;;C;2;3;C;1;0;/;0;8;;;H;0;1;F;4;1;/;0;2查看分类表>
申请人	中国科学院力学研究所	申请人地址	北京市海淀区北四环西路15号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院力学研究所	当前权利人	中国科学院力学研究所
发明人	夏原;许亿;李光
代理机构	北京和信华成知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	焦海峰

摘要

本发明属于烧结钕铁硼磁材表面工程领域，本发明公开了一种同时提高烧结钕铁硼矫顽力和耐蚀性的方法，具体包括如下步骤：(1)镀膜前处理；(2)辉光等离子体清洗；(3)晶界扩散层—重稀土涂层沉积；(4)阻隔层—高熵合金氮化物涂层沉积；(5)耐蚀层—高熵合金涂层沉积；(6)真空热处理；(7)待样品冷却至室温，取出样品，完成对烧结NdFeB磁材的处理。该方法采用磁控溅射在烧结NdFeB磁材表面制备一种新型多层涂层，其中最底层：采用重稀土涂层作为晶界扩散涂层；最外层：采用高熵合金涂层作为耐蚀涂层；中间层：采用高熵合金氮化物涂层作为阻隔涂层。三种涂层所组成的多层涂层在经过真空热处理后，可解决烧结NdFeB矫顽力和耐蚀性无法同时提高的问题。

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