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一种气体分配器

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201320075736.6
  • IPC分类号:C23C16/455
  • 申请日期:
    2013-02-19
  • 申请人:
    靖江先锋半导体科技有限公司
著录项信息
专利名称一种气体分配器
申请号CN201320075736.6申请日期2013-02-19
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/455IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;4;5;5查看分类表>
申请人靖江先锋半导体科技有限公司申请人地址
江苏省泰州市靖江市经济开发区城南工业园区北六圩 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人靖江先锋半导体科技有限公司当前权利人靖江先锋半导体科技有限公司
发明人游利;冯昌延
代理机构靖江市靖泰专利事务所代理人陆平
摘要
一种气体分配器,在进气面上设置有内密封槽、外密封槽,用于放置密封圈;在进气面上还均匀分布设置有1008个出气面直径为0.5mm的通气孔;所述的通气孔出气口设置有圆角R0.8mm平滑过渡;所述的出气面的粗糙度为Ra6-8,并在其表面设置有氧化钇涂层;除出气面被氧化钇涂层的表面外,其余表面覆盖0.05-0.07mm厚的氧化铝膜层。本实用新型结构简单,实现了气体均匀分配的功能,满足了对沉积层厚度均匀性的要求。在氧化钇及氧化铝的保护下,耐腐蚀性能强,大大提高了分配器的使用寿命。

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