一种基于图像处理的光刻机自动对准方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202010834499.1
IPC分类号：G03F9/00
申请日期：
2020-08-19
申请人：
郑州大学

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著录项信息

专利名称	一种基于图像处理的光刻机自动对准方法
申请号	CN202010834499.1	申请日期	2020-08-19
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2020-12-11	公开/公告号	CN112068405A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F9/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F9/00 原版、蒙片、片框、照片、图纹表面的对准或定位，例如自动地（G03F 7/22优先；照相蒙片的制备入G03F 1/00；在复制用的照相印片设备中的入G03B 27/00）〔4〕	IPC分类号	G;0;3;F;9;/;0;0查看分类表>
申请人	郑州大学	申请人地址	河南省郑州市高新技术开发区科学大道100号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	郑州大学	当前权利人	郑州大学
发明人	李元鑫;卫洪涛;卫荣汉;徐献忠;邱京江;张玉东;李静;王伟
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明公开了一种基于图像处理的光刻机自动对准方法，分为三个阶段：准备阶段，识别阶段，数据处理阶段。自动对准系统包含最下方的可移动的平台，及平台上的硅片。在准备阶段时，先拍摄一张只有掩模十字标记的图片，再拍摄一张已对准的图片，经处理提取硅片上的十字标记，在计算机中处理图片，并生成图片集并编号。在识别阶段时，先进行粗对准，再通过掩模上方的两路相机拍照获得图片，然后提取经掩模遮挡后硅片上的十字标记，与图片集进行异或操作，得到异或操作后图片的面积值A并对其进行处理。在数据处理阶段，通过对面积A和图片集编号的计算得到十字标记的偏离值并控制硅片移动。该方法具有对准效率高，方法简便等优点。

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该专利没有引用任何外部专利数据！

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该专利没有被任何外部专利所引用！

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