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一种太阳能电池硅片抛光制绒的方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201310008870.9
  • IPC分类号:H01L31/18
  • 申请日期:
    2013-01-10
  • 申请人:
    中电电气(南京)光伏有限公司
著录项信息
专利名称一种太阳能电池硅片抛光制绒的方法
申请号CN201310008870.9申请日期2013-01-10
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2013-04-17公开/公告号CN103050579A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L31/18IPC分类号H;0;1;L;3;1;/;1;8查看分类表>
申请人中电电气(南京)光伏有限公司申请人地址
江苏省南京市江宁经济技术开发区佛城西路123号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中电电气(南京)光伏有限公司当前权利人中电电气(南京)光伏有限公司
发明人时宝;王建波;黄海冰;郭树恒;宣荣卫;吕俊
代理机构南京汇盛专利商标事务所(普通合伙)代理人陈扬
摘要
本发明公开了一种太阳能电池硅片抛光制绒的方法,其特征在于依次包括如下步骤:(1)对硅片化学清洗,然后进行双面抛光过程;(2)对硅片背表面进行镀钝化层;(3)对硅片的正面进行化学腐蚀方法制备绒面结构,然后进行扩散前清洗。本发明太阳能电池硅片抛光制绒的方法,针对电池的总体制作工艺进行整合操作,利用晶体硅衬底背面沉积的钝化层进行保护后再用腐蚀溶液制绒未沉积区域实现背钝化结构的方法,减少了工艺步骤,工艺控制窗口宽,工艺控制容易,实现了背钝化结构电池的大规模商业化生产。

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