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一种减少超声换能器声串扰的深槽隔离方法及超声换能器

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202211342448.2
  • IPC分类号:B06B1/06
  • 申请日期:
    2022-10-31
  • 申请人:
    浙江仙声科技有限公司
著录项信息
专利名称一种减少超声换能器声串扰的深槽隔离方法及超声换能器
申请号CN202211342448.2申请日期2022-10-31
法律状态公开申报国家中国
公开/公告日2022-11-29公开/公告号CN115400931A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B06B1/06IPC分类号B;0;6;B;1;/;0;6查看分类表>
申请人浙江仙声科技有限公司申请人地址
浙江省台州市仙居县白塔镇经济开发区白塔工业集聚区 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人浙江仙声科技有限公司当前权利人浙江仙声科技有限公司
发明人尹峰;李晖
代理机构南京华讯知识产权代理事务所(普通合伙)代理人仝东凤
摘要
本发明涉及阻断干扰领域,公开了一种减少超声换能器声串扰的深槽隔离方法及超声换能器,超声换能器包括CMOS单元,其上设有至少一个PMUT单元,所有PMUT单元共用PMUT衬底,PMUT单元设有空腔,深槽隔离方法包括步骤当PMUT单元的尺寸和面积、及空腔的面积均小于其相应的预设值时,先围绕空腔、自机械层向PMUT衬底内刻蚀深槽;再在深槽隔离出的区域内的机械层上淀积压电叠层;反之,先在机械层上淀积压电叠层;再围绕空腔、自压电叠层表面向机械层表面刻蚀接触孔,并自接触孔内的机械层表面向PMUT衬底内刻蚀至少一个深槽。本发明通过在PMUT单元之间设置深槽阻碍超声波横向传播,可有效减少超声换能器的声串扰。

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