一种金刚石表面化学机械复合研磨抛光方法与装置

发明专利无效专利

申请号：
CN201010267938.1
IPC分类号：B24B37/24
申请日期：
2010-08-30
申请人：
南京航空航天大学

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著录项信息

专利名称	一种金刚石表面化学机械复合研磨抛光方法与装置
申请号	CN201010267938.1	申请日期	2010-08-30
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2011-02-16	公开/公告号	CN101972979A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B24B37/24 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B24 磨削；抛光 B24B 用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F 3/00）；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给 B24B37/00 研磨机床或装置；附件（B24B 3/00优先） B24B37/11 研具〔2012.01〕 B24B37/20 用于加工平面的研磨垫〔2012.01〕 B24B37/24 以垫的材料成分或特性为特征〔2012.01〕	IPC分类号	B;2;4;B;3;7;/;2;4查看分类表>
申请人	南京航空航天大学	申请人地址	江苏省南京市白下区御道街29号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	南京航空航天大学	当前权利人	南京航空航天大学
发明人	李亮;何宁;卞荣;赵威;杨吟飞;赵孟;吴昊;危卫华
代理机构	南京经纬专利商标代理有限公司	代理人	唐小红

摘要

本发明涉及一种金刚石表面化学机械复合研磨抛光方法，采用复合材料作为研磨、抛光的工具磨盘，将其加热至适当的温度，然后作高速旋转运动；以一定压力将待加工金刚石膜/块压向磨盘表面，使其与磨盘表面发生高速摩擦，通过摩擦区的化学-机械复合循环作用，实现金刚石表面的高效研磨与抛光。该方法为化学-机械复合方式，研磨过程包括催化表层石墨化过程，机械刮除石墨层过程。在化学作用与机械作用的复合循环过程中，实现高效去除金刚石表面材料。所涉及的装置，集成了加热、加载功能，使用复合磨盘作为工具盘，其有益效果在于加工效率高，机械作用力小，加工质量好。本发明还涉及一种金刚石表面化学机械复合研磨抛光装置。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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