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晶元圆周视觉定位及旋转装置

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201821709535.6
  • IPC分类号:H01L21/68;H01L21/683
  • 申请日期:
    2018-10-22
  • 申请人:
    上海福赛特机器人有限公司
著录项信息
专利名称晶元圆周视觉定位及旋转装置
申请号CN201821709535.6申请日期2018-10-22
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/68IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;8;;;H;0;1;L;2;1;/;6;8;3查看分类表>
申请人上海福赛特机器人有限公司申请人地址
上海市徐汇区虹梅路1801号A区凯科国际大厦305-308室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海福赛特机器人有限公司当前权利人上海福赛特机器人有限公司
发明人刘纯君;陈朝星;徐韦明
代理机构上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)代理人陶金龙;张磊
摘要
本实用新型公开了一种晶元圆周视觉定位及旋转装置,包括:旋转机构,用于带动放置其上的晶元旋转;对中机构,包括多个夹持件,用于从圆周方向对旋转机构上的晶元进行夹紧,以将晶元的圆心与旋转机构的旋转中心进行对中;视觉检测机构,用于对旋转机构上的晶元的特征角度进行检测;控制机构,用于控制对中机构对晶元进行对中,控制视觉检测机构对对中后的晶元的特征角度进行检测,以及控制旋转机构将晶元旋转到需要的角度。本实用新型具有降低搬运机构的搬运精度,在搬运时不需要对晶元中心进行定位,在旋转定位时晶元中心和旋转轴中心有很高的同心度,旋转角度的准确性得到更高保证的多种优点。

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