狭缝喷嘴、基板处理装置及狭缝喷嘴的制造方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201410053481.2
IPC分类号：B05C5/00
申请日期：
2014-02-17
申请人：
大日本网屏制造株式会社

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著录项信息

专利名称	狭缝喷嘴、基板处理装置及狭缝喷嘴的制造方法
申请号	CN201410053481.2	申请日期	2014-02-17
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2014-10-01	公开/公告号	CN104069981A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B05C5/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B05 一般喷射或雾化；对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕 B05C 一般对表面涂布液体或其他流体的装置（喷射装置、雾化装置、喷嘴入B05B；把液体或其他流体涂布于物体上的静电喷射装置入B05B 5/08）〔2〕 B05C5/00 将液体或其他流体物质喷射，灌注或让其流到工件表面的装置（B05C 7/00，B05C 19/00优先）	IPC分类号	B;0;5;C;5;/;0;0查看分类表>
申请人	大日本网屏制造株式会社	申请人地址	日本京都市上京区堀川通寺之内上4丁目天神北町1番地之1 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	斯克林集团公司	当前权利人	斯克林集团公司
发明人	平井孝典;高木善则
代理机构	北京同立钧成知识产权代理有限公司	代理人	臧建明

摘要

本发明提供一种狭缝喷嘴、基板处理装置及狭缝喷嘴的制造方法，可防止处理液的漏出。在夹入垫片而使喷嘴盖部贴合于喷嘴本体部的构造体的两端安装侧板而制作狭缝喷嘴。在喷嘴盖部的上侧端部形成四棱柱形状的缺口部。在垫片的上侧端部也形成小于缺口部的剖面的缺口。在缺口部内填装橡胶，并借由按压构件而按压橡胶，由此将橡胶向喷嘴盖部及喷嘴本体部按压。并且，橡胶的一部分将垫片夹入且被按压至喷嘴本体部。由此，橡胶发生变形而填充于缺口部内，形成于垫片与侧板之间的处理液的漏出流路，即间隙，由橡胶而堵塞。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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