一种补偿直流自偏压的系统和方法

发明专利有效专利

申请号：
CN200910077914.7
IPC分类号：H02J1/00;G05F1/46;H05H1/46
申请日期：
2009-02-03
申请人：
北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司

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著录项信息

专利名称	一种补偿直流自偏压的系统和方法
申请号	CN200910077914.7	申请日期	2009-02-03
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2010-08-04	公开/公告号	CN101794990A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H02J1/00 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H02 发电、变电或配电 H02J 供电或配电的电路装置或系统；电能存储系统（用于测量X射线、γ射线、微粒子射线或宇宙射线设备的供电电路入G01T 1/175；专用于具有不动件的电子时钟的供电电路入G04G 19/00；用于数字计算机的入G06F 1/18；用于放电管的入H01J 37/248；电能转换用电路或设备，这种电路或设备的控制装置或调整装置入H02M；数个电机的相关控制，原动机/发电机组的控制入H02P；高频电力的控制入H03L；用以传输信息的电力线路或电力网附加用途入H04B） H02J1/00 直流干线或直流配电网络的电路装置	IPC分类号	H;0;2;J;1;/;0;0;;;G;0;5;F;1;/;4;6;;;H;0;5;H;1;/;4;6查看分类表>
申请人	北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司	申请人地址	北京市北京经济技术开发区文昌大道8号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京北方华创微电子装备有限公司	当前权利人	北京北方华创微电子装备有限公司
发明人	宗令蓓
代理机构	北京天昊联合知识产权代理有限公司	代理人	张天舒;陈源

摘要

本发明公开一种补偿直流自偏压的系统，包括下电极、直流电源、检测模块和控制模块，其中，检测模块用于检测与等离子体处理设备中的直流自偏压存在对应关系的表征参量，并将其测量值传输至控制模块；控制模块根据该测量值产生第一控制信号，并将其传输至直流电源；直流电源根据第一控制信号调整其输出电压，以对直流自偏压进行补偿，从而减小/消除工件上直流自偏压的影响。此外，本发明还公开一种补偿直流自偏压的方法。本发明提供的系统和方法能够对直流自偏压进行实时补偿，因此，既可以提高直流自偏压的补偿精度，又可以使静电夹持装置能够更好地吸附晶片等工件，并且还可以减小氦气漏率、改善工艺结果，进而提高产品良率。

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该专利没有引用任何外部专利数据！

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