一种基于光栅和MEMS反射镜的宽调谐外腔半导体激光器腔型

发明专利有效专利

申请号：
CN201911313276.4
IPC分类号：H01S5/14;H01S5/00
申请日期：
2019-12-19
申请人：
北京遥测技术研究所;航天长征火箭技术有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种基于光栅和MEMS反射镜的宽调谐外腔半导体激光器腔型
申请号	CN201911313276.4	申请日期	2019-12-19
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2020-05-08	公开/公告号	CN111129951A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01S5/14 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01S 利用受激发射的器件 H01S5/00 半导体激光器〔7〕 H01S5/10 光学谐振腔的结构或形状〔7〕 H01S5/14 外腔谐振器激光器（H01S 5/18优先；模式锁定入H01S 5/065）〔7〕	IPC分类号	H;0;1;S;5;/;1;4;;;H;0;1;S;5;/;0;0查看分类表>
申请人	北京遥测技术研究所;航天长征火箭技术有限公司	申请人地址	北京市丰台区北京市9200信箱74分箱变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京遥测技术研究所,航天长征火箭技术有限公司	当前权利人	北京遥测技术研究所,航天长征火箭技术有限公司
发明人	黄彦;张宇露;高志强;周建发;史青;彭泳卿
代理机构	中国航天科技专利中心	代理人	马全亮

摘要

一种基于光栅和MEMS反射镜的宽调谐外腔半导体激光器腔型，半导体激光芯片发出的发散光束经准直器准直后，准直光束被MEMS反射镜反射至光栅发生衍射，选取合适的光栅入射角，使特定波长光束的某非零级次衍射角等于入射角，即该波长光束被光栅选中能够沿着入射光束反方向原路返回激光芯片中，形成激光振荡并输出。当MEMS反射镜发生转动时，被其反射的准直光束入射光栅的入射角将发生变化，则被光栅选中原路返回激光芯片并形成振荡和输出的光波长也随之改变，即实现了输出激光波长的调谐。该腔型使用非接触驱动原理的MEMS反射镜作为调谐器件，能避免长时间运行器件磨损造成调谐精度低、激光器寿命短的问题，而且在实现相同激光波长调谐范围的前提下，该腔型相比于Littman腔型，对MEMS反射镜镜面尺寸和反射镜转角范围的要求大幅度降低，有利于激光器实现宽调谐。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供