一种补偿系统及高次非球面检测装置和方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201410027444.4
IPC分类号：G01M11/00;G02B27/10
申请日期：
2014-01-21
申请人：
苏州大学;北京遥感设备研究所

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著录项信息

专利名称	一种补偿系统及高次非球面检测装置和方法
申请号	CN201410027444.4	申请日期	2014-01-21
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2014-04-23	公开/公告号	CN103743548A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01M11/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01M 机器或结构部件的静或动平衡的测试；其他类目中不包括的结构部件或设备的测试 G01M11/00 光学设备的测试；其他类目未包括的用光学方法测试结构部件	IPC分类号	G;0;1;M;1;1;/;0;0;;;G;0;2;B;2;7;/;1;0查看分类表>
申请人	苏州大学;北京遥感设备研究所	申请人地址	江苏省苏州市工业园区仁爱路199号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	苏州大学,北京遥感设备研究所	当前权利人	苏州大学,北京遥感设备研究所
发明人	解滨;张聪跃;于玲玲;唐烨;肖志宏
代理机构	北京集佳知识产权代理有限公司	代理人	唐灵;常亮

摘要

一种补偿系统、高次非球面检测装置及方法，该补偿系统包括多块共轴的光学镜片，所述多块光学镜片中设有一块分光镜，该分光镜的一个表面为二次非球面表面，该二次非球面位于所述补偿系统的中间位置，光线将垂直入射到上述二次非球面表面，部分光线经反射按原光路返回形成标准光，另外部分光线则从该面垂直透射形成测量光。由于测量光和标准光在分光镜之前的光学系统中共光路，使得这些元件的面形误差、系统装配精误差，偏心误差、材料折射率均匀性以及装卡应力造成的不利影响均被抵消，对加工装配精度要求大大下降，这有利于给各种装配偏差留出误差空间，能够达到更高检测精度，并确保最终检测精度可靠有效。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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