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一种柔性衬底光伏电池绒面铝电极的制备方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201210584628.1
IPC分类号：H01L31/18;H01L21/203
申请日期：
2012-12-30
申请人：
青海天誉汇新能源开发有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种柔性衬底光伏电池绒面铝电极的制备方法
申请号	CN201210584628.1	申请日期	2012-12-30
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2013-04-03	公开/公告号	CN103022258A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L31/18 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L31/058 （转入H01L 31/0525，H02S 40/44） H01L31/18 专门适用于制造或处理这些器件或其部件的方法或设备〔2〕	IPC分类号	H;0;1;L;3;1;/;1;8;;;H;0;1;L;2;1;/;2;0;3查看分类表>
申请人	青海天誉汇新能源开发有限公司	申请人地址	青海省西宁市东川工业园区金桥路36号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	青海天誉汇新能源开发有限公司	当前权利人	青海天誉汇新能源开发有限公司
发明人	白恒玮
代理机构	西宁金语专利代理事务所	代理人	哈庆华

摘要

本发明公开了一种柔性衬底光伏电池绒面铝电极的制备方法，利用射频磁控溅射技术制备铝电极薄膜，并给出了室温条件下的工艺参数，本发明在室温下直接制备具有较好绒面、低电阻率（平均电阻率为2.4x10-6欧姆.cm）和高漫反射率（平均漫反射率高达70%）的金属Al背电极、本发明提出的制备方法工艺简单实用，同时还避免了高温对塑料等柔性衬底的影响，具有较高的实用价值。

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