提高埋电阻印制线路板电阻值精度的方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201210445571.7
IPC分类号：H05K3/06;H05K1/16
申请日期：
2012-11-08
申请人：
东莞生益电子有限公司

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著录项信息

专利名称	提高埋电阻印制线路板电阻值精度的方法
申请号	CN201210445571.7	申请日期	2012-11-08
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2013-04-24	公开/公告号	CN103068175A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H05K3/06 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H05 其他类目不包含的电技术 H05K 印刷电路；电设备的外壳或结构零部件；电气元件组件的制造（其他类目不包括的仪器零部件或其他设备的类似零部件入G12B；薄膜或厚膜电路入H01L 27/01，H01L 27/13；用于对印刷电路或印刷电路之间的电连接的非印刷方法入H01R；用于特殊类型设备的外壳或其结构零部件，见有关小类；仅包括单一工艺的加工方法，例如已列入其他类目的加热、喷射，见有关的类） H05K3/00 用于制造印刷电路的设备或方法（结构表面或图形表面照相制板的制作、所用的材料或原图、其专用的设备，一般入G03F；包括有半导体器件制造的入H01L）〔3〕 H05K3/02 其中将导电材料敷至绝缘支承物的表面上，而后再将其导电材料从不希望让电流通导或屏蔽的表面区域中去除的 H05K3/06 用化学或电解方法将导电材料去除的，例如用光刻工艺	IPC分类号	H;0;5;K;3;/;0;6;;;H;0;5;K;1;/;1;6查看分类表>
申请人	东莞生益电子有限公司	申请人地址	广东省东莞市东城区（同沙）科技工业园区变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	东莞生益电子有限公司	当前权利人	东莞生益电子有限公司
发明人	杜红兵;肖璐;吕红刚;曾红
代理机构	深圳市德力知识产权代理事务所	代理人	林才桂

摘要

本发明提供一种提高埋电阻印制线路板电阻值精度的方法，包括如下步骤：步骤1、提供具有埋阻层的板材，其包括绝缘介质层、埋阻层及铜箔层；步骤2、贴第一光阻膜，第一次曝光，将菲林负片的线路图形印刷到该第一光阻膜上，第一次显影，该线路图形由电阻线路和正常线路组成，该电阻线路的线宽的长边单边加大6mil，宽边单边加大1.25mil；步骤3、第一次蚀刻，第二次蚀刻；步骤4、贴第二光阻膜，第二次曝光，将菲林正片的电阻图形印刷到第二光阻膜上，第二次显影，该电阻图形的线宽的长边单边缩小0.6mil，宽边单边加大6mil；步骤5、第三次蚀刻；步骤6、对板材的表面进行棕氧化处理，微蚀量控制在1.3-1.7um，对所述菲林正片的电阻图形做出-17%的额外补偿。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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