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一种光刻照明系统中的相干因子调整装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201510393722.2
  • IPC分类号:G03F7/20;G02B26/08
  • 申请日期:
    2015-07-07
  • 申请人:
    中国科学院光电技术研究所
著录项信息
专利名称一种光刻照明系统中的相干因子调整装置
申请号CN201510393722.2申请日期2015-07-07
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2015-10-07公开/公告号CN104965391A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0;;;G;0;2;B;2;6;/;0;8查看分类表>
申请人中国科学院光电技术研究所申请人地址
四川省成都市双流350信箱 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国科学院光电技术研究所当前权利人中国科学院光电技术研究所
发明人卢亮;张海波;林妩媚
代理机构暂无代理人暂无
摘要
本发明公开了一种光刻照明系统中的相干因子调整装置,包括:反射镜组,位于照明系统前端光路上,反射镜组高精度旋转电机驱动,可以有较高的旋转精度;准直镜组位于反射镜组后的照明系统光路上;锥形棱镜组位于准直镜组的出射光路上;再经过后方的均匀照明子系统后在掩模面上获得均匀的光强分布。本发明利用简单的方法实现了相干因子的多档变化,提高系统透过率,达到简化结构降低成本的目的。

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