首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据，仅供参考，实际以国家知识产权局展示为准

一种光刻照明系统中的相干因子调整装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201510393722.2
IPC分类号：G03F7/20;G02B26/08
申请日期：
2015-07-07
申请人：
中国科学院光电技术研究所

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种光刻照明系统中的相干因子调整装置
申请号	CN201510393722.2	申请日期	2015-07-07
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2015-10-07	公开/公告号	CN104965391A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F7/20 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F7/00 图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L 21/00，H05K）〔3，5〕 G03F7/20 曝光及其设备（复制用照相印制设备入G03B 27/00）〔4〕	IPC分类号	G;0;3;F;7;/;2;0;;;G;0;2;B;2;6;/;0;8查看分类表>
申请人	中国科学院光电技术研究所	申请人地址	四川省成都市双流350信箱变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院光电技术研究所	当前权利人	中国科学院光电技术研究所
发明人	卢亮;张海波;林妩媚
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明公开了一种光刻照明系统中的相干因子调整装置，包括：反射镜组，位于照明系统前端光路上，反射镜组高精度旋转电机驱动，可以有较高的旋转精度；准直镜组位于反射镜组后的照明系统光路上；锥形棱镜组位于准直镜组的出射光路上；再经过后方的均匀照明子系统后在掩模面上获得均匀的光强分布。本发明利用简单的方法实现了相干因子的多档变化，提高系统透过率，达到简化结构降低成本的目的。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供