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烧结炉的冷却室中的光退火

发明专利有效专利

申请号：
CN201680040342.3
IPC分类号：H01L31/18;H01L21/67
申请日期：
2016-05-19
申请人：
伊利诺斯工具制品有限公司

基础信息

权利要求

说明书

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	烧结炉的冷却室中的光退火
申请号	CN201680040342.3	申请日期	2016-05-19
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2018-03-27	公开/公告号	CN107851682A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L31/18 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L31/058 （转入H01L 31/0525，H02S 40/44） H01L31/18 专门适用于制造或处理这些器件或其部件的方法或设备〔2〕	IPC分类号	H;0;1;L;3;1;/;1;8;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7查看分类表>
申请人	伊利诺斯工具制品有限公司	申请人地址	美国伊利诺伊州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	伊利诺斯工具制品有限公司	当前权利人	伊利诺斯工具制品有限公司
发明人	丹尼尔·M·鲁夫;布兰登·奥克斯·朗;帕拉斯那·翁;埃里克·理查德·安德森
代理机构	上海脱颖律师事务所	代理人	脱颖

摘要

一个实施例涉及一种包括烧结炉的装置，该烧结炉包括配置成烧结光伏器件的金属化层的加热室和配置成冷却已经由加热室加热的光伏器件的冷却室。冷却室包括灯，以当光伏器件在冷却室中被冷却时对光伏器件进行光退火以减小光致衰退。烧结炉的冷却室被配置成使用在烧结炉的加热室中进行的加热的余热作为用于光伏器件的光退火的热量。光退火不在烧结炉的加热室中进行。

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