绝缘构件及包括绝缘构件的基板处理装置

发明专利无效专利

申请号：
CN201110368736.0
IPC分类号：H01J37/32
申请日期：
2011-11-17
申请人：
东京毅力科创株式会社

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	绝缘构件及包括绝缘构件的基板处理装置
申请号	CN201110368736.0	申请日期	2011-11-17
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2012-05-23	公开/公告号	CN102468107A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/32 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/32 充气放电管（放电加热的入H05B）	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;3;2查看分类表>
申请人	东京毅力科创株式会社	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	东京毅力科创株式会社	当前权利人	东京毅力科创株式会社
发明人	佐佐木芳彦;田中诚治
代理机构	北京林达刘知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	刘新宇;张会华

摘要

本发明提供绝缘构件及包括绝缘构件的基板处理装置。该绝缘构件能够防止密封构件因等离子体而劣化。在基板处理装置(10)的腔室(11)内将基座(12)和腔室的底部平面(51)绝缘的绝缘构件(14)具有内侧构件(41)、外侧构件(42)、配置在两者之间的O型密封圈(43)，外侧构件由与矩形的基座的各边相对应的长条状物(44～47)的组合体构成，各长条状物以各长条状物的一端的端面抵接于相邻的另一个长条状物的一端的侧面、另一端的侧面抵接于又一个长条状物的一端的端面的方式组合，各长条状物排列为各长条状物的一端借助固定用的螺纹孔(48)固定于腔室的底部平面、另一端借助支承用的螺纹孔(49)位移自由地支承。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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