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检查装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201410179190.8
  • IPC分类号:G01R31/02
  • 申请日期:
    2014-04-30
  • 申请人:
    佰欧特株式会社
著录项信息
专利名称检查装置
申请号CN201410179190.8申请日期2014-04-30
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2015-11-04公开/公告号CN105021940A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01R31/02IPC分类号G;0;1;R;3;1;/;0;2查看分类表>
申请人佰欧特株式会社申请人地址
韩国京畿道 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人佰欧特株式会社当前权利人佰欧特株式会社
发明人金完洙;郑相宪
代理机构北京银龙知识产权代理有限公司代理人张敬强;严星铁
摘要
本发明的检查装置,包括:检查单元,检查基板的通电状态;及转位单元,通过旋转运动将上述基板移送至上述检查单元。本发明的检查装置可迅速可靠地检查基板的通电状态。

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