专利名称 | 一种蚀刻系统放电异常检测方法和装置 | ||
申请号 | CN201811565127.2 | 申请日期 | 2018-12-20 |
法律状态 | 授权 | 申报国家 | 中国 |
公开/公告日 | 2019-05-28 | 公开/公告号 | CN109814006A |
优先权 | 暂无 | 优先权号 | 暂无 |
主分类号 | G01R31/12 | IPC分类号 | 查看分类表> |
申请人 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 申请人地址 |
变更
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权利人 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 当前权利人 | |
发明人 | 张璐 | ||
代理机构 | 北京荟英捷创知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 段志慧 |
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