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一种非制冷式红外焦平面阵列探测器

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201110120925.6
  • IPC分类号:H01L27/144;G01J5/20
  • 申请日期:
    2011-05-11
  • 申请人:
    武汉高德红外股份有限公司
著录项信息
专利名称一种非制冷式红外焦平面阵列探测器
申请号CN201110120925.6申请日期2011-05-11
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2011-12-14公开/公告号CN102280455A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L27/144IPC分类号H;0;1;L;2;7;/;1;4;4;;;G;0;1;J;5;/;2;0查看分类表>
申请人武汉高德红外股份有限公司申请人地址
湖北省武汉市洪山区书城路26号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人武汉高德红外股份有限公司当前权利人武汉高德红外股份有限公司
发明人黄立
代理机构武汉开元知识产权代理有限公司代理人唐正玉
摘要
本发明涉及一种非制冷式红外焦平面阵列探测器,结构为桥腿的一边端部与桥面连接在一起,另一边端部通过锚柱连接在基底上;所述的基底为读出集成电路衬底,表面上设有反射膜层;所述的桥面是悬空在反射膜层的正上方,并与基底之间形成真空间隙层;所述的桥腿设置在桥面相对应的二侧上,且桥腿与桥面各自的下表面分布于同一平面上。所述的桥面从下到上依次为支撑层、吸收层、绝缘层、热敏感层和保护层;桥腿从下到上依次为热阻层、导电层和钝化层。所述的锚柱由金属钨柱和氧化硅柱组成,该锚柱从内到外依次是金属钨和氧化硅材料。本发明的锚柱是一种新型锚柱,相比传统填充工艺形成的锚柱来说,缩小了锚柱所占的面积,并且降低了工艺难度。

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