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电布线结构、电光装置用基板、电光装置及其制造方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200410037591.6
  • IPC分类号:G02F1/133
  • 申请日期:
    2004-04-28
  • 申请人:
    精工爱普生株式会社
著录项信息
专利名称电布线结构、电光装置用基板、电光装置及其制造方法
申请号CN200410037591.6申请日期2004-04-28
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2004-11-03公开/公告号CN1542511
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G02F1/133IPC分类号G;0;2;F;1;/;1;3;3查看分类表>
申请人精工爱普生株式会社申请人地址
日本东京都 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人精工爱普生株式会社当前权利人精工爱普生株式会社
发明人田口聪志;大池一夫;上原秀树;今井克浩;田中千浩
代理机构北京市中咨律师事务所代理人陈海红;段承恩
摘要
本发明提供一种在形成包含耐腐蚀性金属布线和非耐腐蚀性金属布线在内的非线性元件等时,可同时形成的、且可获得良好的低电阻性及耐腐蚀性的电布线结构、电布线结构的制造方法、具有上述电布线结构的电光装置用基板、及电光装置、以及电光装置的制造方法。因此,在耐腐蚀性金属布线的表面上依次形成该耐腐蚀性金属的氧化层及非耐腐蚀性金属布线,同时耐腐蚀性金属布线具有除去该耐腐蚀性金属的氧化层的露出部,通过该露出部,通孔及跨非耐腐蚀性金属布线、露出部之上地形成的导电性无机氧化膜等电连接辅助部件可电连接耐腐蚀性金属布线与非耐腐蚀性金属布线。

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