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沉积设备和用于监测沉积设备的方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201980090404.5
IPC分类号：H01J37/34;H01J37/32
申请日期：
2019-02-05
申请人：
应用材料公司

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权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	沉积设备和用于监测沉积设备的方法
申请号	CN201980090404.5	申请日期	2019-02-05
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-09-07	公开/公告号	CN113366605A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/34 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/32 充气放电管（放电加热的入H05B） H01J37/34 用阴极溅射工作的（H01J 37/36优先）〔3〕	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;3;4;;;H;0;1;J;3;7;/;3;2查看分类表>
申请人	应用材料公司	申请人地址	美国加利福尼亚州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	应用材料公司	当前权利人	应用材料公司
发明人	约阿希姆·松嫩申;丹尼尔·谢弗-科皮托;托拜西·伯格曼
代理机构	北京律诚同业知识产权代理有限公司	代理人	徐金国;赵静

摘要

提供了一种用于在基板上沉积材料的沉积设备(100)。所述沉积设备包括阴极组件(10)。所述沉积设备包括冷却剂接收壳体(20)，所述冷却剂接收壳体用于接收冷却剂(22)以冷却所述阴极组件。所述沉积设备包括传感器(30)，所述传感器布置在所述冷却剂接收壳体(20)外部以检测所述冷却剂从所述冷却剂接收壳体的泄漏。

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