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一种平面研磨机的下盘驱动结构

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201410114482.3
  • IPC分类号:B24B37/04;B24B37/34
  • 申请日期:
    2014-03-26
  • 申请人:
    广东工业大学
著录项信息
专利名称一种平面研磨机的下盘驱动结构
申请号CN201410114482.3申请日期2014-03-26
法律状态驳回申报国家中国
公开/公告日2014-07-02公开/公告号CN103894920A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B24B37/04IPC分类号B;2;4;B;3;7;/;0;4;;;B;2;4;B;3;7;/;3;4查看分类表>
申请人广东工业大学申请人地址
广东省广州市番禺区广州大学城外环西路100号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人广东工业大学当前权利人广东工业大学
发明人王成勇;郑李娟;宋月贤;李胜蓝;黎清健;王启民
代理机构广州粤高专利商标代理有限公司代理人林丽明
摘要
本发明是一种平面研磨机的下盘驱动结构。包括研磨盘、机架、力矩电机,其中力矩电机为大扭矩直驱式力矩电机,主轴与转台为一体结构,转台是力矩电机的转子,支撑盘固定在转台上,转台由转台轴承的内圈支撑,转台轴承的外圈固定在力矩电机的外壁上,转子在水平方向由双列圆柱滚子轴承固定,转台转动带动支撑盘转动,冷却盘固定在支撑盘上,研磨盘固定在冷却盘上,研磨盘设有的冷却回路经过转台,转台的下端装有用来实时监测与控制主轴转速的旋转编码器,定子的下端为电机端盖,力矩电机固定在机架上。本发明传动链很短,低转速、大扭矩、过载能力强、响应快,能实现无极调速;且振动小,噪声小,加工过程平稳,加工精度高。

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