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具有遮蔽装置的真空测量计

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200680043868.3
  • IPC分类号:G01L19/00;G01L7/08;G01L9/00
  • 申请日期:
    2006-11-13
  • 申请人:
    英飞康有限责任公司
著录项信息
专利名称具有遮蔽装置的真空测量计
申请号CN200680043868.3申请日期2006-11-13
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2008-11-26公开/公告号CN101313204
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01L19/00IPC分类号G;0;1;L;1;9;/;0;0;;;G;0;1;L;7;/;0;8;;;G;0;1;L;9;/;0;0查看分类表>
申请人英飞康有限责任公司申请人地址
瑞士巴特拉加茨 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人英飞康有限责任公司当前权利人英飞康有限责任公司
发明人P·比约克曼;U·瓦尔克利;H·汉塞尔曼;S·杜里斯;M·武斯特
代理机构中国专利代理(香港)有限公司代理人曹若;梁冰
摘要
一种用于真空测量计(15)的遮蔽装置,具有包围着遮蔽件(20)的管状的遮蔽壳体(14),其中遮蔽壳体(6)具有用于与真空测量计(15)连接的排出开口(16)以及用于与待测量的对象腔室连接的连接开口(16,22),并且遮蔽件(20)构造成具有螺旋形螺纹(21)的螺旋遮蔽件,其中其螺纹轮廓侧面在外直径中贴靠在遮蔽壳体(14)的内壁上,从而阻挡了螺纹轮廓侧面的外直径和内壁之间的气体通流,并且这种气体通流基本上被强制进入到螺旋形的螺距中;并且排出开口(16)处在管件(14)的一侧,而连接开口(22)处在位于对面的另一侧,并且螺旋遮蔽件(20)这样构造,使得在轴向的视线方向上,遮蔽装置(25)在两个开口(16,22)之间是光学密封的。

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